离子溅射仪是一种紧凑的台式镀膜系统，特别适用于扫描电子显微镜成像中非导电样品的高质量镀膜。样品的干燥和清洗是离子溅射镀膜的基本要求。如有必要，应在交换样品和阴极位置用火花放电清洁样品表面，然后在溅射涂层之前恢复样品。铁、镍、铜和铅是离子溅射仪器常用的阴极材料。有时，电硬金、铂、钯、铟和其他金属也可用作阴极材料。氧通常用作离子溅射仪器的反应气体。
离子溅射仪的操作说明：
1、一般来说，工作距离是可调的。距离越近，溅射速度越快，但热损伤会增加。
2、通过控制真空压力来实现离子电流的大小。真空度越低，I值越大，溅射速度越快，原子晶粒越粗，样品（阳极）电子轰击产生的热量越高；真空度越高，I越小，溅射速度越慢，原子晶粒越小，电子轰击样品产生的热量也较小。
3、加速电压固定可调。加速电压越高，样品的热损伤越大。通常使用金属靶的比例面积。
4、对于一些热敏样品，样品区域需要冷却、水冷或珀尔贴冷却；磁控装置也可用于像电磁透镜一样使电子从样品中偏转。当然，在这种转变之后，它将增加非常高的成本。你可以在蜡面上溅一层金属而不会造成任何损坏！
5、真空中杂质越多，涂层质量越差。一般来说，金相对稳定，空气可以用作等离子体气源，而许多其他靶需要惰性气体。
6、气体的原子序数越高，动量越大，溅射速度越快，但晶粒越厚，连续薄膜越厚。
7、保持真空室清洁有利于高质量涂层。
8、不要让机械真空泵长时间保持真空，否则很容易倒油。
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