全自动离子溅射仪的使用说明，就差你不知道了

　　全自动离子溅射仪是一种紧凑的台式涂层系统，特别适用于扫描电子显微镜成像中非导电样品的高质量涂层。样品的干燥和清洁是离子溅射涂层的基本要求。如有必要，应在交换样品和阴极的位置通过火花放电清洁样品表面，然后在溅射涂层之前恢复样品。铁、镍、铜和铅常用作仪器的阴极材料。有时，电硬金、铂、钯、铟和其他金属也可以用作阴极材料。
 



  

　　全自动离子溅射仪的使用说明：
 
　　1、一般来说，工作距离是可调节的。距离越近，溅射速度越快，但热损伤会增加。
 
　　2、通过控制真空压力来实现离子电流的大小。真空度越低，I越大，溅射速度越快，原子晶粒越粗，电子轰击样品(阳极)产生的热量越高；真空度越高，I越小，溅射速度越慢，原子晶粒越小，电子轰击样品产生的热量也小。
 
　　3、加速电压固定可调。加速电压越高，样品的热损伤越大。通常使用金属靶的比例面积。
 
　　4、一些热敏样品需要在样品区冷却、水冷或珀尔帖冷却；磁控器件也可以像电磁透镜一样用于偏转样品中的电子。当然，在这种转型之后，它将增加非常高的成本。你可以在蜡表面溅上一层金属而不会造成任何损坏。
 
　　5、真空中的杂质越多，涂层质量越差。通常，金相对稳定，空气可以用作等离子体气体源，而许多其他靶需要惰性气体。
 
　　6、气体的原子序数越高，动量越大，溅射速度越快，但颗粒会更厚，连续膜会更厚。
 
　　7、保持真空室的清洁对高质量的涂层非常有益。
 
　　8、不要让机械真空泵长时间保持极限真空，否则容易倒油。