全自动离子溅射仪使用时需要注意哪些事项？

　　全自动离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
 



 

　　全自动离子溅射仪的使用注意事项：
 
　　1、一般作业间隔可调，间隔越近，溅射速度越快，但热损害会添加。
 
　　2、离子流的大小通过控制真空压力实现，真空度越低，I越大，溅射速度越快，原子结晶晶粒越粗，电子炮击样品(阳极)发生的热量越高；真空度越高,I越小，溅射速度越慢，原子结晶晶粒越细微，电子炮击样品发生的热量小。
 
　　3、加快电压为固定,也有可调的，加快电压越高，对样品热损害越大。一般运用金属靶材的正比区域。
 
　　4、有些热敏样品，需要对样品区进行冷却，水冷或许帕尔贴冷却；也能够选用磁控设备，像电磁透镜相同把电子违背样品。经过这样的改造，当然会添加很高的成本。能够在白腊外表溅射一层金属，而没有任何损害！
 
　　5、真空中的杂质越多，镀膜质量越差。一般黄金比较稳定，能够选用空气作为等离子气源，而其他很多靶材则需要惰性气体为好。
 
　　6、气体原子序数越高，动量越大，溅射越快，但晶粒会较粗，连续成膜的膜层较厚。
 
　　7、保持真空室的洁净对高质量的镀膜有很大优点。
 
　　8、不要让机械真空泵长期保持极限真空，否则简单反油。