一文读懂小型真空等离子清洗机的操作步骤

　　小型真空等离子清洗机使用等离子进行清洗，可以达到传统清洗无法达到的水平。与激光清洗的直接光不同，等离子体的指向性不强，这使其能够穿透表面的微孔和凹陷。高精度的时间和功率控制不会损坏基板表面并确保表面质量。具有去除能力强、非接触清洗、操作简单、无二次污染等优点。
 



 

　　小型真空等离子清洗机的操作步骤如下：
 
　　(1)打开电源，打开开关并按照说明进行操作。首先，检查与等离子清洗机相连的氮气瓶和氧气瓶连接是否正常，气体是否充足。拧松氮气气源主阀，将减压阀的压力调节至0.4巴左右，打开气源开关；
 
　　(2)将要清洁的材料放在架子上。如果材料的尺寸太小，先把它们放在托盘上，然后放在架子上。关闭舱门。
 
　　(3)按控制面板上的“ENTER”键进入调整，并选择所需的进气口、功率和时间。
 
　　(4)选择后，按“开始”开始。在近真空室中，射频电源使气体在高压下发光，产生高能等离子体，轰击材料表面，达到清洁效果。5%氩气+95%氮气的组合发出粉红色的光芒。
 
　　(5)之后，在打开舱门之前，等待外部气体充满机舱。如果车厢内没有充满气体，不要强行打开车门。打开腔室，取出清洁的样品；再次放置样品进行清洁。为了清洁每个样品，一次放置的样品数量不应太多。
 
　　(6)清洗完所有样品后，关闭所有气源开关和主阀，并关闭等离子清洗机房门。